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真空等離子清洗機的應(yīng)用及原理

更新時間:2023-04-07      點擊次數(shù):1607
   隨著科技的不斷發(fā)展,各行業(yè)對于清洗技術(shù)的要求也越來越高。其中,電子行業(yè)、航天航空工業(yè)等對于清洗的要求尤為嚴格。而在這些行業(yè)中,真空等離子清洗機憑借其高效、無殘留、無損傷等特點受到越來越多的關(guān)注和應(yīng)用。

真空等離子清洗機

  一、應(yīng)用領(lǐng)域
  該設(shè)備主要用于半導體、涂層、光學、電子、航空航天等領(lǐng)域中不同材料表面的清洗。具體來說,它可用于以下方面:
  1、半導體制造業(yè):半導體器件生產(chǎn)過程中需要頻繁進行清洗,在傳統(tǒng)的清洗方法中難免會留下污染或殘留物。而真空等離子清洗機不僅能夠清除這些物質(zhì),而且還能降低工作環(huán)境中的細菌和微生物數(shù)量,從而大大提高了半導體產(chǎn)品的質(zhì)量和穩(wěn)定性。
  2、涂層行業(yè):在涂層生產(chǎn)過程中,需要對底材進行清洗,以確保涂層的附著力和光滑度。等離子清洗機不僅能有效地去除油脂、灰塵和其他污染物,而且還能防止細菌在制造過程中的污染。
  3、光學制造業(yè):光學產(chǎn)品如鏡片、透鏡等需要高精度、高質(zhì)量的表面處理,而真空等離子清洗機可有效地去除表面殘留物,減少在表面加工過程中產(chǎn)生的損傷,從而提高了光學產(chǎn)品的質(zhì)量。
  4、航天航空工業(yè):在航空航天領(lǐng)域,各種零部件如發(fā)動機、制動器等需要經(jīng)常進行清洗。可以清除這些部件表面的污垢和油脂等,從而保證了它們的性能和壽命。
 
  二、基本原理
  真空等離子清洗機是利用等離子體發(fā)生器產(chǎn)生帶電粒子,通過激發(fā)表面物質(zhì)分子將其分解為小分子,從而實現(xiàn)清洗的目的。其主要原理如下:
  1、等離子體發(fā)生器:等離子體是由氣體分子經(jīng)過電子轟擊而形成的帶電粒子的集合體。等離子體發(fā)生器通過高壓電場將氣體轉(zhuǎn)變?yōu)榈入x子體,然后在等離子體中產(chǎn)生不同的化學反應(yīng),達到清洗效果。
  2、氣體選擇:不同的材料需要不同的清洗氣體。例如,在半導體制造業(yè)中,氧氣和氬氣是常用的清洗氣體;而在涂層行業(yè)中,四氟化碳是經(jīng)常使用的清洗氣體。
  3、清洗方式:主要有兩種清洗方式:一種是輝光放電清洗,即利用等離子體與表面物質(zhì)的作用力實現(xiàn)清洗效果;另一種是放電等離子清洗,即直接向表面物質(zhì)施加電弧或電暈放電,產(chǎn)生化學反應(yīng)來進行清洗。
 
  三、注意事項
  在使用時,需要注意以下幾點:
  1、選擇適當?shù)臍怏w:不同的領(lǐng)域和材料需要使用不同的氣體,需要根據(jù)具體情況選擇適當?shù)那逑礆怏w。
  2、合理設(shè)置工藝參數(shù):包括清洗時間、清洗氣體流量等,需要通過實驗和測試確定合適的工藝參數(shù)。
  3、安全操作:在工作時需要使用高壓電場,需要遵守相關(guān)安全操作規(guī)程,以免發(fā)生事故。
  總之,真空等離子清洗機是現(xiàn)代清洗技術(shù)中一種十分重要的清洗方式。它不僅能夠清除表面污染物,而且還具有無殘留、無損傷等特點,因此在各行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。
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