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IC等離子清洗機

簡要描述:SPV-100IC等離子清洗機通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體。等離子體的“活性"組分包括:離子、電子、原子、自由活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質來氧化、還原、裂解、交聯和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質,從而優化材料表面性能,實現清潔、改性、刻蝕等目的。

  • 產品型號:SPV-100
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-03-07
  • 訪  問  量:2395

詳細介紹

一、等離子體介紹
1、產品原理
通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、自由活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質進行氧化、還原、裂解、交聯和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質,從而優化材料表面性能,實現清潔、改性、刻蝕等目的。
2、行業應用
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二、產品介紹
 
1、產品概述
SPV-100真空等離子清洗機(Plasma cleaner),氣體通過激勵電源離化成等離子態,等離子體作用于產品表面,清洗產品表面污染物,提高表面活性,增強附著性能。等離子清洗是一種新型的、環保、高效、穩定的表面處理方式。
 
2、產品優勢
(1)便捷的收放板方式。
(2)真空系統集成,占地面積小。
(3)低耗能、耗氣產品。
(4)水平電極設計,可滿足軟性產品處理需求。
(5)集成的控制系統設計,使操作更方便。
(6)合理的等離子反應空間,使處理更均勻。
(7)產品放置治具靈活多變,可適應不規則的產品。
 
3、產品結構
真空等離子體表面處理系統主要包括三個部分:真空腔及真空系統,等離子體發生器,控制系統。
(A)真空腔及真空發生系統
真空腔固定于機柜框架內,左右兩側為可拆門,因此內部的真空腔及真空系統的維修是極方便的。真空發生系統由波紋管、KF接頭、真空泵以及油霧過濾器組成,核心部件真空泵(真空泵組)。
(B)等離子體發生器
等離子體發生器在20Pa-100Pa間給電極板施加電壓,產生低溫等離子體。利用高頻轉換技術形成高頻電壓加到電極板上,當真空腔內達到一定真空度時,產生等離子體放電現象,放電后電路會自動調節電壓到適當值,保證電路正常穩定放電。
(C)控制系統
本系統使用MCGS觸摸屏、西門子PLC、中文界面。設備的工藝流程控制:真空泵啟動->擋板閥開啟->達到設定的真空度->通入工藝氣體->RF放電->工作時間到破真空->工作完成。設備分自動和手動兩種方式。
 
4、產品規格


 5、設備尺寸圖紙
(1)主機尺寸圖紙

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(2)等離子腔體圖紙
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三、規格要求

 

 

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